冷氢化技术的作用

　（1）冷氢化工序
工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。
提纯后的四氯化硅经过加压、预热后送至四氯化硅汽化器，汽化后的四氯化硅气体经过加热器进一步加热后送至氢化反应器中。
循环氢气和补充的新鲜氢气经各自的压缩机加压后混合，按与硅粉规定比例经过预热器、加热器加热后送至氢化反应器中。
将来自还原尾气干法分离的氯化氢气体经压缩机加压和加热器加热后送至氢化反应器中（case1）。
在氢化反应器中，硅粉与四氯化